半导体设备行业3月数据点评：产业链数据受疫情影响不明显 晶圆厂设备招标国产化加速

投资要点

    产业链数据受疫情影响不明显，设备订单需求依旧强劲

    全球半导体销量回暖趋势明显，2 月全球半导体的销售额为345 亿美元，同比+4.99%（11/12/1 月同比分别为-11.4%/-5.5%/-0.23%），其中中国地区销售额+5.41%，增速持续高于全球。集成电路进出口方面：3 月集成电路进口额为291 亿美元，同比+19.54%；出口额为88 亿美元，同比+10.2%。

    晶圆代工厂收入大幅增长，订单无明显减少，继续维持资本开支计划：台积电3 月营收同比大幅增长42.4%，受疫情影响并不明显，Q1 合计实现营收约103.5 亿美元，同比+42%（超此前102-103 亿美元的预期）；订单方面未发生明显减少，继续维持2020 年150-160 亿美元的目标资本开支。中芯国际将Q1 收入指引由环比增长0-2%上调至6-8%，毛利率指引由21%-23%上调为25%-27%；2020 年资本开支将由2019 年的22 亿美元大幅提升至31 亿美元。

    半导体设备需求依旧强劲：2 月北美半导体设备制造商销售额为23.7亿美元，同比+26.8%，增速为两年来最高水平。ASML Q1 发货延迟，订单需求依旧强劲：Q1 净利润3.91 亿欧元，同比+10%，环比下降66%低于预期，主要受疫情影响发货延迟；Q1 系统预订量达31 亿欧元，环比+28%，其中包括11 个EUV 系统的15 亿欧元。

    国内主流晶圆厂招标正常进行，国产设备商获多个订单

    华力集成、华虹（无锡）、合肥晶合自3 月份以来开启招投标，长江存储自年初以来的密集招标仍在继续, 中微公司、北方华创、华海清科等中标多个设备订单，把握国产化机遇。

    1）华力集成：年初以来，华力二期累计释放58 台工艺设备，其中国产设备13 台，国产化率22%。国产设备商中，吉姆西半导体和上海天隽各中标5 台研磨设备，所在领域占比均为38%；中微半导体中标2 台刻蚀设备，为年初以来唯一中标刻蚀设备的厂商。

    2）华虹无锡：年初以来，华虹无锡累计释放129 台工艺设备，其中国产设备17 台，国产化率13%。国产设备商中，北方华创中标2 台刻蚀设备、1 台PVD 设备及2 台退火设备，相应领域占比分别为10%、12%、16%；中微半导体中标3 台刻蚀设备，所在领域占比为15%；此外吉姆西半导体中标2 台抛光设备及2 台检测设备，相应领域占比分别为40%、10%；华海清科中标3 台抛光设备，占比60%。

    3）长江存储：年初以来，长江存储累计释放376 台工艺设备，其中国产设备38 台，国产化率10%。国产设备商中，北方华创中标3 台刻蚀设备，3 台薄膜沉积设备及4 台 退火设备，对应领域占比分别为6%、5%和17%；中微半导体中标9 台刻蚀设备，占比19%；华海清科中标6 台CMP 设备，占比18%。

    4）上海积塔：3 月30 日8 寸线投产，月产能5 万片的12 英寸线产能建设也即将启动。3 月份以来，上海积塔累计招标7 台工艺设备，其中国产设备1 台（芯源微的涂胶显影机），国产化率13%。

    投资建议：建议重点关注【晶盛机电】国内晶体硅生长设备龙头企业，具备80%以上的整线生产能力，已有批量订单；【北方华创】产品线最全（刻蚀机，薄膜沉积设备等）的半导体设备公司；【中微公司】进入全球供应链的国产刻蚀设备龙头。其余关注【长川科技】【精测电子】【华兴源创】【至纯科技】【华峰测控】。

    风险提示：晶圆厂扩产不及预期；设备国产化不及预期。